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[发明专利]一种PI蚀刻液电解再生系统-CN202011319777.6在审
发明人：方磊;杨洁;孙彬;沈洪;李晓华 -专利权人：江苏上达电子有限公司
申请日： 2020-11-23 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本发明涉及一种PI蚀刻液电解再生系统，属于蚀刻液电解技术领域。包括PI蚀刻液储槽、泵、过滤器和电解再生装置，所述的过滤器设置在PI蚀刻液储槽底部循环PI蚀刻液储槽内的PI蚀刻液，所述的电解再生装置设置在PI蚀刻液储槽的一侧，电解再生装置与PI蚀刻液储槽相通，PI蚀刻液储槽内的PI蚀刻液从PI蚀刻液储槽的槽体底部通过泵抽至电解再生装置内，电解再生装置电解再生后将PI蚀刻液再抽回PI蚀刻液储槽。本发明的有益效果是：本发明通过电解再生装置，提高药液中高锰酸根离子浓度，延长药液寿命，节省药水成本；减少药液使用，将产生的无用成分回收利用，减少废液产生，减少环境污染，降低废水处理成本。
一种 pi 蚀刻电解再生系统

[实用新型]一种PI蚀刻液电解再生系统-CN202022722802.7有效
发明人：方磊;杨洁;孙彬;沈洪;李晓华 -专利权人：上达电子（深圳）股份有限公司
申请日： 2020-11-23 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种PI蚀刻液电解再生系统，属于蚀刻液电解技术领域。包括PI蚀刻液储槽、泵、过滤器和电解再生装置，所述的过滤器设置在PI蚀刻液储槽底部循环PI蚀刻液储槽内的PI蚀刻液，所述的电解再生装置设置在PI蚀刻液储槽的一侧，电解再生装置与PI蚀刻液储槽相通，PI蚀刻液储槽内的PI蚀刻液从PI蚀刻液储槽的槽体底部通过泵抽至电解再生装置内，电解再生装置电解再生后将PI蚀刻液再抽回PI蚀刻液储槽。本实用新型的有益效果是：本实用新型通过电解再生装置，提高药液中高锰酸根离子浓度，延长药液寿命，节省药水成本；减少药液使用，将产生的无用成分回收利用，减少废液产生，减少环境污染，降低废水处理成本。
一种 pi 蚀刻电解再生系统

[发明专利]一种电解蚀刻装置-CN201910829069.8在审
发明人：刘建波;朱爱明;吴志鹏 -专利权人：昆山东威科技股份有限公司
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： C25F3/02 文献下载
摘要：本发明属于电解蚀刻领域，用于提供一种便于控制蚀刻速度的电解蚀刻装置，其技术方案要点包括：一种电解蚀刻装置，包括反应单元，反应单元包括阴极、阳极、电解液，所述阳极用导电夹头连接待蚀刻件，所述待蚀刻件的待蚀刻部分浸没在电解液中，包括数段电解槽，阳极在各段电解槽之间移动，阴极与电解槽之间的相对位置保持不变，每段电解槽内的电流大小各自对应控制不同蚀刻量。适用于蚀刻工况，能够通过逐步蚀刻同一块待蚀刻板来达到降低一次性蚀刻过多的风险。
蚀刻电解槽阳极阴极电解蚀刻装置反应单元电解液技术方案要点一次性蚀刻导电夹头电解蚀刻位置保持浸没蚀刻量刻板移动

[实用新型]一种电解蚀刻装置-CN201921456338.2有效
发明人：刘建波;朱爱明;吴志鹏 -专利权人：昆山东威科技股份有限公司
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： C25F3/02 文献下载
摘要：本实用新型属于电解蚀刻领域，用于提供一种便于控制蚀刻速度的电解蚀刻装置，其技术方案要点包括：一种电解蚀刻装置，包括反应单元，反应单元包括阴极、阳极、电解液，所述阳极用导电夹头连接待蚀刻件，所述待蚀刻件的待蚀刻部分浸没在电解液中，包括数段电解槽，阳极在各段电解槽之间移动，阴极与电解槽之间的相对位置保持不变，每段电解槽内的电流大小各自对应控制不同蚀刻量。适用于蚀刻工况，能够通过逐步蚀刻同一块待蚀刻板来达到降低一次性蚀刻过多的风险。
一种电解蚀刻装置

[实用新型]一种酸性蚀刻液回收装置-CN201620850101.2有效
发明人：李建光 -专利权人：深圳市泓达环境科技有限公司
申请日： 2016-08-05 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本实用新型适用于蚀刻组合物的再生领域，提供了一种酸性蚀刻液回收装置，包括酸性蚀刻液废液贮存装置、用于对贮存的酸性蚀刻液废液进行电解处理的电解装置及用于回收所述电解装置进行电解处理后产生的酸性蚀刻再生液的酸性蚀刻液再生装置，所述酸性蚀刻液废液贮存装置、所述电解装置及所述酸性蚀刻液再生装置顺次连接，所述酸性蚀刻液回收装置还包括用于回收所述电解装置产生的氯气的氯气回收装置，所述氯气回收装置分别与所述电解装置、所述酸性蚀刻液再生装置连接本实用新型提供的一种酸性蚀刻液回收装置，通过氯气回收装置的使用，将电解过程中产生的氯气回收利用。这不仅解决了氯气排放问题，而且实现了对所产生的氯气的回收。
一种酸性蚀刻回收装置

[实用新型]提高酸性蚀刻液再生回用率的系统-CN201920540358.1有效
发明人：刘剑锋;高东瑞;李强 -专利权人：惠州市臻鼎环保科技有限公司
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本实用新型揭示一种提高酸性蚀刻液再生回用率的系统，其包括蚀刻产线、电解装置、添加装置、再生液调配装置以及再生液ORP提升装置，蚀刻产线的富铜酸性蚀刻废液经电解装置电解后成氯气和贫铜电解清液，贫铜电解清液与蚀刻产线的低ORP酸性蚀刻液混合形成再生酸性蚀刻液，再生液ORP提升装置对酸性蚀刻液进行逆流喷射，并与氯气碰撞，获得高ORP酸性蚀刻再生液再返回蚀刻产线。本申请通过再生液ORP提升装置的设置，获得高ORP酸性蚀刻再生液再返回蚀刻产线，以提高蚀刻产线上酸性蚀刻液的ORP，替代了传统蚀刻产线添加氧化剂与盐酸的方式，提高了蚀刻废液的再生回用率，降低了化学剂的使用和废水的排放
蚀刻产线酸性蚀刻液再生液提升装置电解酸性蚀刻再生液氯气电解装置再生贫铜清液化学剂酸性蚀刻废液氧化剂本实用新型调配装置逆流喷射蚀刻废液添加装置返回盐酸废水排放替代申请

[发明专利]提高酸性蚀刻液再生回用率的系统及方法-CN201910318744.0在审
发明人：刘剑锋;高东瑞;李强 -专利权人：惠州市臻鼎环保科技有限公司
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本发明揭示一种提高酸性蚀刻液再生回用率的系统，其包括蚀刻产线、电解装置、添加装置、再生液调配装置以及再生液ORP提升装置，蚀刻产线的富铜酸性蚀刻废液经电解装置电解后成氯气和贫铜电解清液，贫铜电解清液与蚀刻产线的低ORP酸性蚀刻液混合形成再生酸性蚀刻液，再生液ORP提升装置对酸性蚀刻液进行逆流喷射，并与氯气碰撞，获得高ORP酸性蚀刻再生液再返回蚀刻产线；本发明还揭示了一种提高酸性蚀刻液再生回用率的方法。本申请通过再生液ORP提升装置的设置，获得高ORP酸性蚀刻再生液再返回蚀刻产线，以提高蚀刻产线上酸性蚀刻液的ORP，替代了传统蚀刻产线添加氧化剂与盐酸的方式，提高了蚀刻废液的再生回用率，降低了化学剂的使用和废水的排放
蚀刻酸性蚀刻液产线再生液再生提升装置电解酸性蚀刻再生液氯气电解装置贫铜清液化学剂酸性蚀刻废液氧化剂调配装置逆流喷射蚀刻废液添加装置返回盐酸废水排放替代申请

[发明专利]一种微蚀刻液的再生循环装置-CN201711453755.7在审
发明人：罗宝奎;陈永江 -专利权人：广州市吉池环保科技有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：一种微蚀刻液的再生循环装置，包括与微蚀刻生产线连通的蚀刻废液槽以及，用于输送再生蚀刻液至微蚀刻生产线的再生调配槽；所述蚀刻废液槽与电解槽连通，所述电解槽与所述再生调配槽连通。该微蚀刻液的再生循环装置采用直接电解的生产工艺，将微蚀刻废液直接加入到电解槽中进行电解，将废液中的铜离子分离出来，经过电沉积后形成高纯电解铜板；降低铜离子浓度的电解液经调整参数后返回微蚀刻生产线使用，实现微蚀刻废液的循环再生
微蚀刻再生循环装置微蚀刻液电解槽废液连通蚀刻废液调配槽铜离子环保型系统再生蚀刻液再生电解铜板调整参数废物排放循环再生直接电解电沉积电解液高纯生产工艺电解废气废水返回封闭

[实用新型]一种酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统-CN201721402660.8有效
发明人：李建光;崔磊;张良;卢江峰;刘智凯 -专利权人：深圳市洁驰科技有限公司;昆山市洁驰环保科技发展有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统，包括：废液存储装置、电解再生装置、以及一次尾气处理装置和二次尾气处理装置，一次尾气处理装置分别与蚀刻产线及电解再生装置连接，二次尾气处理装置的入口与该一次尾气处理装置连接，出口与蚀刻产线连接，且电解再生装置的出口与蚀刻产线连接。通过一次尾气处理装置和二次尾气处理装置，电解再生装置在电解过程中产生的尾气被充分吸收，在处理尾气的同时还能实现蚀刻液再生，该再生蚀刻液返回蚀刻产线继续工作，因此本实用新型可以将蚀刻工作中产生的废气和废液充分回收利用
尾气处理装置蚀刻电解再生装置产线尾气处理系统本实用新型酸性蚀刻液电解再生尾气蚀刻液再生再生蚀刻液电解过程废液存储回收利用资源循环废液出口废气返回吸收

[发明专利]酸性氯化铜蚀刻液电解再生循环及铜板回收装置及方法-CN201410284365.1有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：深圳市新锐思环保科技有限公司
申请日： 2014-06-24 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种酸性氯化铜蚀刻液电解再生循环及铜板回收装置及方法，该装置包括利用复合导电高分子膜分成阴极区和阳极区的电解槽、蚀刻辅缸、蚀刻废液收集缸、再生液收集缸和废气处理装置；阴极区内设有阴极电解片，所述阳极区内设有阳极电解片，蚀刻辅缸内设置有溶气装置；蚀刻缸产生的废液通过蚀刻废液收集缸送入电解槽的阴极区，电解槽的阳极区设有出水口和出气口，该出水口通过再生液收集缸与蚀刻辅缸连通，该出气口将阳极区产生的气体通过溶气装置通入蚀刻辅缸中，蚀刻辅缸与蚀刻缸连通，蚀刻辅缸产生的废气送入废气处理装置内。本发明解决现有酸性氯化铜蚀刻液再生循环的高能耗、低回用率、阴极铜杂质含量多等问题。
酸性氯化铜蚀刻电解再生循环铜板回收装置方法

[实用新型]酸性氯化铜蚀刻液电解再生循环及铜板回收装置-CN201420337905.3有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：深圳市新锐思环保科技有限公司
申请日： 2014-06-24 - 公布日： 2014-12-03 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种酸性氯化铜蚀刻液电解再生循环及铜板回收装置，该装置包括利用复合导电高分子膜分成阴极区和阳极区的电解槽、蚀刻辅缸、蚀刻废液收集缸、再生液收集缸和废气处理装置；阴极区内设有阴极电解片，所述阳极区内设有阳极电解片，蚀刻辅缸内设置有溶气装置；蚀刻缸产生的废液通过蚀刻废液收集缸送入电解槽的阴极区，电解槽的阳极区设有出水口和出气口，该出水口通过再生液收集缸与蚀刻辅缸连通，该出气口将阳极区产生的气体通过溶气装置通入蚀刻辅缸中，蚀刻辅缸与蚀刻缸连通，蚀刻辅缸产生的废气送入废气处理装置内。本实用新型解决现有酸性氯化铜蚀刻液再生循环的高能耗、低回用率、阴极铜杂质含量多等问题。
酸性氯化铜蚀刻电解再生循环铜板回收装置

[发明专利]一种线路板蚀刻及蚀刻液再生成套设备-CN201410257006.7无效
发明人：查红平;张昭君;何立发;徐福林;朱贵娥;周小亮 -专利权人：红板（江西）有限公司
申请日： 2014-06-11 - 公布日： 2014-09-24 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本发明提供了一种线路板蚀刻及蚀刻液再生成套设备，由药水喷淋蚀刻层、蚀刻药水槽、电解再生装置、提升泵构成，所述药水喷淋蚀刻层下方设置蚀刻药水槽，药水喷淋蚀刻层与蚀刻药水槽之间连接一个提升泵，其特征是所述蚀刻药水槽分隔为废液槽和新鲜药水槽，废液槽通过另一个提升泵连接电解再生装置的进液口，电解再生装置的再生药水出口连接新鲜药水槽。通过将蚀刻液废液与新鲜药水的线上分开存储，配合在线废液电解再生，提高了再生系统的电解效率、减少氯气的产生，有效减少了药水的添加量；将再生回收装置与蚀刻机整合，简化了回收系统和后续操作。
一种线路板蚀刻再生成套设备

[发明专利]酸性蚀刻液在线电解回收装置及蚀刻液再生方法-CN201110130675.4无效
发明人：赵国鹏;钟洪胜;徐海清;陈力格;袁国伟;曾振欧;胡耀红 -专利权人：广州鸿葳科技股份有限公司;广州市二轻工业科学技术研究所
申请日： 2011-05-19 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： C25C1/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种酸性蚀刻液在线电解回收装置及一种酸性蚀刻液在线电解再生方法，先将酸性蚀刻液导入电解槽和调整槽，酸性蚀刻液经调整槽导入蚀刻机，将蚀刻废液导入阴、阳极液储存槽，电解槽阴极室电解得到阴极液及附着在阴极管上的金属铜，阳极室电解得到阳极液，电解槽阴、阳极室电解液则分别由阴、阳极液储存槽补充，调整槽内酸性蚀刻液用完后，将电解槽电解得到的阴极液与阳极液混合进入调整槽，继续用于蚀刻机工作，并取出阴极管，将电解铜剥落。本发明可以达到与蚀刻机对接在线的工作状态，形成闭路循环，大大节约蚀刻液成本又可以回收金属铜，铜离子再生电效≥98％，阴极沉积回收铜效率≥95％，铜纯度高于99％。
酸性蚀刻在线电解回收装置再生方法

[实用新型]一种碱性蚀刻废液电解回用设备-CN202021488166.X有效
发明人：叶涛 -专利权人：叶涛
申请日： 2020-07-24 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种碱性蚀刻废液电解回用设备，包括电解再生槽、电解阳极、电解阴极、电源，所述电解阳极和电解阴极置于电解再生槽内，分别与电源的正极、负极连接，其特征在于，还增设有用于对电解再生槽内的电解液进行固液分离的固液分离装置，所述固液分离装置与所述电解再生槽连接，以便对电解再生槽中的电解液进行去除沉淀物和固体杂质的处理。本实用新型性蚀刻废液电解回用的设备通过设置固液分离装置，对碱性蚀刻废液电解处理后的电解液进行固液分离，有效去除电解液中的沉淀物和固体杂质，使得再生后电解液返回到蚀刻生产线上使用时不影响蚀刻质量。
一种碱性蚀刻废液电解设备

[发明专利]电解反应控制结构及其应用的电解装置-CN201910829046.7在审
发明人：朱爱明;刘建波;吴志鹏 -专利权人：昆山东威科技股份有限公司
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： C25F7/00 文献下载
摘要：本发明属于电解蚀刻装置领域，具体涉及一种电解反应控制结构及其应用的电解装置。一种电解反应控制结构，包括液位计，设于电解液中，用于测量电解液液面高度并在所述液面高度低于预设高度时发出补液信号；控制结构，用于接收所述液位计发出的补液信号并控制泵浦补给电解液；遮蔽结构，包括遮蔽单元，设于阴极件的端部和待蚀刻件端部之间,以减缓所述阴极件端部与所述待蚀刻件端部之间的电解液流动速度，所述待蚀刻件与阳极导线连接。液位计令电解液始终在要求范围内，降低因电解液液面太低而停止待蚀刻件顶部的反应的风险；在电解液始终充裕的前提下，再通过减弱待蚀刻件顶部和底部的电力线边缘效应，令整个待蚀刻件上的蚀刻效果趋于均匀。
蚀刻电解液控制结构液位计电解反应阴极件补液液面电解蚀刻装置测量电解液电解液流动电解液液面边缘效应电解装置阳极导线遮蔽单元遮蔽结构电力线控制泵预设补给应用

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